محققان دانشگاه صنعتی امیرکبیر طی پروژهای به ساخت و بررسی خواص نانومکانیکی ذرات ساینده هسته/پوستهای پرداختند که در فرآیند مسطح سازی مکانیکی-شیمیایی (CMP) کاربرد ویژهای دارد.
کاهش عیوب میکروپردازندهها و ادوات جدید ذخیرهسازی اطلاعات با بکارگیری ذرات هسته
محققان دانشگاه صنعتی امیرکبیر طی پروژهای به ساخت و بررسی خواص نانومکانیکی ذرات ساینده هسته/پوستهای پرداختند که در فرآیند مسطح سازی مکانیکی-شیمیایی (CMP) کاربرد ویژهای دارد.